是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。

在真空设备维修中用户头疼的一定是检测漏率问题了。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。外漏较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。内漏则要从不同真空工作区域分区排查，在真空系统达到一定压力值后，分别启动卷绕和蒸发系统，观察真空计的读数在短暂下降后有无爬升，可以初步判断内漏点方向。内漏多发生在有水冷却点的设备上，在查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀等，具备以上条件基本可以推断内漏，先将腔体清理干净，再通冷却水，仔细查看通水管路有无湿润点，湿润处就是漏点。